火焰原子化
在這過程中，大致分為兩個主要階段：
（1）從溶液霧化至蒸發為分子蒸氣的過程。主要依賴于霧化器的性能、霧滴大小、溶液性質、火焰溫度和溶液的濃度等。
（2）從分子蒸氣至解離成基態原子的過程。主要依賴于被測物形成分子的鍵能，同時還與火焰的溫度及氣氛相關。分子的離解能越低，對離解越有利。就ICP原子發射光譜儀而言，解離能小于3.5eV的分子，容易被解離；當大于5eV時，解離就比較困難。
