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  • 發布時間:2020-10-12 11:10 原文鏈接: 一篇文章說清半導體制程發展史(一)

    半導體制造工藝節點是如何演進的?晶體管的架構是怎樣發展成如今模樣的?下面告訴你...

    半導體制造的工藝節點,涉及到多方面的問題,如制造工藝和設備,晶體管的架構、材料等。下面,我們就具體介紹并分析一下,供大家參考。

    首先,技術節點是什么意思呢?常聽說的,諸如,臺積電16nm工藝的Nvidia GPU、英特爾14nm工藝的i5,這個長度的含義,具體的定義需要詳細給出晶體管的結構圖才行,簡單地說,在早期,可以認為是晶體管的尺寸。

    這個尺寸很重要,因為晶體管的作用,簡單地說,就是把電子從一端(S),通過一段溝道,送到另一端(D),這個過程完成之后,信息的傳遞就完成了。因為電子的速度是有限的,在現代晶體管中,一般都是以飽和速度運行的,所以需要的時間基本就由這個溝道的長度來決定。越短,就越快。

    這個溝道的長度,和前面說的晶體管的尺寸,大體上可以認為是一致的。但是二者有區別,溝道長度是一個晶體管物理的概念,而用于技術節點的那個尺寸,是制造工藝的概念,二者相關,但是不能完全劃等號。

    在微米時代,這個技術節點的數字越小,晶體管的尺寸也越小,溝道長度也就越小。但是在22nm節點之后,晶體管的實際尺寸,或者說溝道的實際長度,是長于這個數字的。比方說,英特爾的14nm的晶體管,溝道長度其實是20nm左右。

    這里就涉及到三個問題:

    第一,為什么要把晶體管的尺寸縮小?以及是按照怎樣的比例縮小的?這個問題就是在問,縮小有什么好處?

    第二, 為什么技術節點的數字不能等同于晶體管的實際尺寸?或者說,在晶體管的實際尺寸并沒有按比例縮小的情況下,為什么要宣稱是新一代的技術節點?這個問題就是在問,縮小有什么技術困難?

    第三, 具體如何縮小?也就是,技術節點的發展歷程是怎樣的?在每一代都有怎樣的技術進步?在這里我特指晶體管的設計和材料。

    下面盡我所能來回答,歡迎指正。

    第一個問題,一部分的答案已經說了,因為越小就越快。這個快是可以直接翻譯為基于晶體管的集成電路芯片的性能上去的。下面以微處理器CPU為例,如下圖所示。

    上邊這張圖的信息量很大,綠色的點,代表CPU的時鐘頻率,越高當然越快。可以看出直到2004年,CPU的時鐘頻率基本是指數上升的,背后的主要原因就是晶體管的尺寸縮小。

    另外一個重要的原因是,尺寸縮小之后,集成度(單位面積的晶體管數量)提升,這有多個好處,一來可以增加芯片的功能,二來,根據摩爾定律,集成度提升的直接結果是成本的下降。

    這也是為什么半導體行業50年來如一日地追求摩爾定律的原因,因為如果達不到這個標準,你家的產品成本就會高于能達到這個標準的對手,你家就倒閉了。

    還有一個原因是晶體管縮小可以降低單個晶體管的功耗,因為縮小規則的要求,同時會降低整體芯片的供電電壓,進而降低功耗。

    但也有例外,從物理原理上說,單位面積的功耗并不降低。因此這成為了晶體管縮小的一個很嚴重的問題,因為理論上的計算是理想情況,實際上,不僅不降低,反而是隨著集成度的提高而提高的。

    2000年前后,人們已經預測到,根據摩爾定律的發展,如果沒有什么技術進步的話,晶體管縮小到2010年前后時,其功耗密度可以達到火箭發動機的水平,這樣的芯片當然是不可能正常工作的。即使達不到這個水平,溫度太高也會影響晶體管的性能。

    事實上,業界現在也沒有找到真正徹底解決晶體管功耗問題的方案,實際的做法是:一方面降低電壓(功耗與電壓的平方成正比),一方面不再追求時鐘頻率。因此在上圖中,2005年以后,CPU頻率不再增長,性能的提升主要依靠多核架構。這個被稱作“功耗墻”,至今仍然存在,所以你買不到5GHz的處理器,4GHz的都幾乎沒有。

    以上是三個縮小晶體管的主要誘因。可以看出,都是重量級的提升性能、功能、降低成本的方法,所以業界才會一直堅持到現在。

    那么是怎樣縮小的呢?物理原理是恒定電場,因為晶體管的物理學通俗的說,是電場決定的,所以只要電場不變,晶體管的模型就不需要改變,這種方式被證明效果最佳,被稱為Dennard Scaling,提出者是IBM。

    電場等于電壓除以尺寸。既然要縮小尺寸,就要等比降低電壓。

    如何縮小尺寸?簡單粗暴:將面積縮小到原來的一半就好了。面積等于尺寸的平方,因此尺寸就縮小大約0.7。如果看一下晶體管技術節點的數字:

    130nm 90nm 65nm 45nm 32nm 22nm 14nm 10nm 7nm (5nm)

    會發現是一個大約以0.7為比的等比數列。現在,這只是一個命名的習慣,跟實際尺寸已經有差距了。


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