上海納米級等離子工藝研討會預告 2012年3月19日
本次研討會將于Semicon2012開幕的前一天召開，我們在此誠意邀請工業界、學術界對微納米及發光二極管等離子技術的發展趨勢及設備制造與應用感興趣的同行先進參加。
牛津儀器的外方應用專家及國內知名機構的用戶將出席并發言。
本次研討會主題如下:
? 原子層沉積系統的發展與應用
? 離子束刻蝕和沉積的發展與應用
? 硅深刻蝕工藝
? 氮化鎵的深刻蝕加工工藝
? 微納米制造及硅場電子發射體特征
? 更多主題正在進一步確認…
發言結束后，我們會安排充足的討論和交流時間。
關于牛津
牛津儀器公司于1959年創建于英國牛津，現已成為世界領先的科學儀器跨國集團公司，是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設備、超導超低溫產品、核磁共振儀、低溫泵壓縮機、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個工廠以及遍及全球的分公司或辦事處。
具體產品信息請參見牛津儀器公司中文網站及英文網站：www.oichina.cn www.oxinst.com
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