不忘其志，先生千古——沉痛悼念查良鎮教授

我國二次離子質譜(SIMS)的開拓者，國際著名的SIMS專家，清華大學教授，查良鎮先生因病醫治無效，于2022年12月24日2點18分在北京逝世，享年八十五歲。

查良鎮教授的逝世，不僅是中國SIMS界的損失，也是世界SIMS界的損失！

查良鎮教授是清華大學“千字號”畢業生，留校任教后成為清華大學表面物理與真空科學專業的領軍人物。先生治學嚴謹、為人真誠，對學術一絲不茍，對工作盡心盡力，對學生誨人不倦。查教授上世紀六十年代初就研制成功中國第一臺質譜撿漏儀，獲國家工業新產品一等獎。1985年查良鎮教授和他的團隊克服各種困難，研制成功我國第一臺四極二離子質譜儀（Q-SIMS），并進一步深入開展二次離子的基體效應、半導體材料摻雜的定性、定量分析等方面的基礎性和應用性研究，開創了以清華大學為基地的中國二次離子質譜分析學術領域。查良鎮教授從事SIMS研究幾十年，主持和參與了多項全國和國際性的學術研究項目，取得一系列顯著成果，學術影響遍及海內外。查教師一生培養了的大批學生和研究生，是一位不可多得的、令人尊敬的導師和學術帶頭人。

查良鎮教授上世紀六十年代初研制成功中國第一臺質譜撿漏儀

查良鎮教授上世紀九十年代發表的研究論文 

查良鎮教授退休后，不顧年事已高，仍然悉心指導我國第一個SIMS國際標準《Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for measurement of mass resolution》的撰寫。該標準于2022年4月正式發布，對二次離子質譜質量分辨的定義及測試要求進行了澄清和規范，在國際SIMS領域產生了極大的影響。

查良鎮教授查教授曾擔任國際二次離子質譜專業委員會委員，中國物理學會質譜分會委員，為推動中國SIMS和世界先進國家的SIMS的學術交流做出了巨大的貢獻。他于1993年倡議并組織了第一屆中國二次離子質譜學會議，至今已形成每兩年舉辦一屆的全國性學術會議，是一個包括二岸三地在內的世界各地華人SIMS專家、學者參加的頂級學術交流盛會。

查良鎮教授和參加第六屆中國二次離子質譜會議的國內外專家學者在一起

查良鎮教授陪同國外專家參觀實驗室 

查良鎮教授和國際著名SIMS專家Benninghoven教授在一起

查良鎮教授的逝世，使我們失去了一位SIMS的領軍者，是中國SIMS界的重大損失。查良鎮教授雖然離我們而去，但查良鎮教授的學術成果、治學為人風范，依然閃著光芒，并將會一代代傳承下去。

查良鎮教授走好！查良鎮教授千古！

                                                       中國質譜學會  

                                                         2022年12月25日