與能譜儀相比，波譜儀的主要優點是什么

　　波譜儀全稱為波長分散譜儀(WDS)。在電子探針中，X射線是由樣品表面以下 m數量級的作用體積中激發出來的,如果這個體積中的樣品是由多種元素組成，則可激發出各個相應元素的特征X射線。

　　被激發的特征X射線照射到連續轉動的分光晶體上實現分光（色散），即不同波長的X射線將在各自滿足布拉格方程的2方向上被（與分光晶體以2：1的角速度同步轉動的）檢測器接收。

　　Si(Li)能譜儀的優點

　　分析速度快

　　能譜儀可以同時接受和檢測所有不同能量的X射線光子信號，故可在幾分鐘內分析和確定樣品中含有的所有元素，帶鈹窗口的探測器可探測的元素范圍為11Na~92U，20世紀80年代推向市場的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析Be以上的輕元素,探測元素的范圍為4Be~92U。

　　靈敏度高

　　X射線收集立體角大。由于能譜儀中Si(Li)探頭可以放在離發射源很近的地方(10㎝左右)，無需經過晶體衍射，信號強度幾乎沒有損失，所以靈敏度高(可達104cps/nA，入射電子束單位強度所產生的X射線計數率)。

　　此外，能譜儀可在低入射電子束流(10-11A)條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。

　　譜線重復性好

　　由于能譜儀沒有運動部件，穩定性好，且沒有聚焦要求，所以譜線峰值位置的重復性好且不存在失焦問題，適合于比較粗糙表面的分析工作。