1.氦氣分子量小，擴散性強、滲透率高，即可以通過極小的孔。
2.氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，這說明正常空氣環境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。
3.氦氣是無毒無色無味的惰性氣體，這就意味著，正常情況下其可以作為介質在所有的物體中存在，且不發生反應。
4.在質譜儀譜圖中易于與其它物質區分。
5.綜合以上幾個特點，氦氣作為一種檢漏的示蹤氣體，是最佳的選擇。
