1.獲得樣品最表層1-3個原子信息深度信息；
2.可以檢測同位素，用于同位素分析 ；
3.達到ppm~ ppb級的探測極限。
4. 可以并行探測所有元素和化合物，離子傳輸率可以達到100%。
5.采用高效的電子中和槍，可以精確的分析絕緣材料。
6. 具有很小的信息深度（小于1nm）；可以分析材料最表層（原子層）的結構。
7. 極高的空間分辨率，對于樣品表面的組成結構一目了然（小于50nm)。
8. 可以探測的質量數范圍包括12000原子量單位以下的所有材料，包括H, He等元素。
9.可以同時給出分子離子峰和官能團碎片峰；可以方便的分析出化合物和有機大分子的整體結構。
10. 采用雙束離子源可以對樣品進行深度剖析，深度分辨率小于1納米。