冷凍蝕刻是指將標本置于-100?C的干冰或-196?C的液氮中進行冰凍，然后用冷刀將標本斷開，升溫后冰在真空條件下迅即升華，暴露出斷面結構。
蝕刻后，向斷面以45度角噴涂一層蒸汽鉑，再以90度角噴涂一層碳，加強反差和強度。然后用次氯酸鈉溶液消化樣品，把碳和鉑的膜剝下來，此膜即為復膜（replica）。復膜顯示出了標本蝕刻面的形態，在電鏡下得到的影像即代表標本中細胞斷裂面處的結構。
