什么是散射儀？

　　使用光學的辦法來測量光刻膠圖形的線寬等幾何尺寸的儀器稱為散射儀。散射儀（scattermetry）的工作原理是：一束光入射在晶圓表面，晶圓表面的光刻膠圖形對入射光產生散射和衍射，這些含有表面結構信息的光被探測儀接收。對探測儀器接收的信號做分析，得到晶圓表面光刻膠圖形的三維尺寸。