什么是無機質譜法？

　　對無機化合物進行定性定量分析的質譜方法。早期使用火花源質譜儀器為主，目前成功地把電感耦合等離子體（ICP）電離源與質譜結合起來，使質譜法更廣泛的用于無機物的分析。無機質譜法的主要應用領域有：高純氣體中痕量雜質分析；無機物元素分析；固體表面的微區和深度分析等。無機質譜法的突出優點是它具有超高靈敏度。