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  •   近日,復旦大學公開了2022年8月政府采購意向,本次預算總金額超3500萬元,采購內容包括原子層薄膜氣相沉積系統、超高空間分辨電子束誘導電流譜、高分辨晶體衍射儀、傅立葉紅外光譜儀、紅外探測器高精度測試表征系統、II-VI族化合物半導體分子束外延系統等儀器設備。


    采購項目名稱采購品目采購需求概況預算金額(萬元)
    II-VI族化合物半導體分子束外延系統A02052402真空應用設備分子束外延(MBE)系統包含外延Ⅱ-Ⅵ材料生長的襯底處理,生長過程的控制和后道工藝。進樣室和過渡室的極限真空度可以達到10-10Torr,生長室極限真空能到10-11 Torr;最大可容納4英寸襯底;預除氣可達800℃;在MBE裝置中可附有四極質譜儀、電離計(束流規)高能電子衍射(RHEED)、原位橢偏儀等,可以隨時監控外延層的成份和結構的完整性。1280
    液氮真空管路系統A02052402真空應用設備從大型液氮貯槽到室內分子束外延系統的真空液氮管道系統,包含氮氣管道。240
    原子層薄膜氣相沉積系統A02052402真空應用設備原子層沉積設備主要用于沉積出薄膜材料,滿足沉積Al2O3、HfO2、ZrO2等薄膜材料的需要。175
    鈍化層專用低溫反應離子刻蝕機A032103電子工業專用生產設備主要用于刻蝕氧化物、半導體、金屬等。ICP源功率:0 - 3000 W;RIE源功率:0 - 600 W;基底溫度:-120oC - 80oC 可調;刻蝕均勻性:±5% ( 4英寸 );裝片:一片4英寸,向下兼容任意規格樣品;刻蝕氣體:BCl3,HBr,SF6,CF4,C4F8,CHF3,Ar,O2400
    寬譜光電探測低頻噪聲分析系統A02110204半導體器件參數測量儀最大頻率: 44 GHz ,配有混頻器時可達到 1.1 THz;最大分析帶寬達到1 GHz; DANL:174dB;相位噪聲:135dBc/Hz;最大實時帶寬:510 MHz140
    超高空間分辨電子束誘導電流譜A02110203電子元件參數測量儀系統包括掃描電鏡、納米機械手及控制模塊。掃描電鏡參數:電子槍:高穩定度肖特基場發射電子槍;電子束流:1 pA ~ 50 nA連續可調;高真空模式分辨率優于0.5nm;放大倍率達到1000000倍。300
    高分辨晶體衍射儀A02100402物理特性分析儀器及校準儀器X射線發生器最大輸出功率:≥9kW;管電壓:≥20-45kV;管電流:≥10-200mA;X射線防護標準:≤1μSievert/h(10cm)。240
    傅立葉紅外光譜儀A02100304光學測試儀器提供從紫外/可見光(50000 cm-1) 到遠紅外/太赫茲(5 cm-1)的廣泛光譜范圍、極高的光譜和時間分辨率;優于 0.2cm-1的標點光譜分辨率,具有兩個可選的外接檢測器端口可安裝輻射熱測量計和/或熱電子檢測器的液氦杜瓦。205
    紅外探測器高精度測試表征系統A02100304光學測試儀器能夠實現多種紅外探測器的器件級測試,單色儀光譜范圍可定制,最大可擴展到0.4-20μm,波長覆蓋短、中、長波,規模覆蓋點源、線列和面陣。系統噪聲<100μV。包含高精度差分黑體,分辨率0.001℃。200
    高精度光刻機A032103電子工業專用生產設備紫外光波長:350nm~450nm; 光強均勻性:2% ; 正面套準精度:0.2 μm; 基片尺寸:支持6英寸以下.用于微納器件加工中曝光微米級結構圖型。330


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