低氣壓等離子體發生器的工作原理

把被處理的固體表面或需要聚合膜層的基體表面置于放電環境中，由等離子體處理。由于低氣壓等離子體為冷等離子體，當氣壓為 133～13.3帕左右時，電子溫度高達10000開，而氣體溫度只有300開，既不致燒壞基體，又有足夠能量進行表面處理。