(1)低溫泵在獲取潔凈和無油真空方面，具有其他產品無法相比的優勢。它可以作為研究其他真空泵對真空污染程度的標準；
(2)低溫泵在抽除水蒸汽和其他潮濕混合氣方面具有較大抽速；
(3)低溫泵在抽取輕重量分子方面也具有較大抽速；
(4)在要求大抽速的真空設備中，低溫泵是最經濟的。商品化的低溫泵可以在很小的口徑下提供大的抽速
(5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的，不需要其他電子材料，不會有波動；
(6)在真空中無任何運動部件，高穩定性，也不會帶來密封問題；
(7)低溫泵的安裝無任何方向要求；
(8)低溫泵還可以進行選擇性的抽取某種氣體。