俄歇電子能譜(AES)是目前最常用的一種表面分析技術,其表面探測深度約為20A。在元素定性分析時,可以一次測定除氫氦以外的所有元素,并且有對樣品進行微區分析和深度分析的功能,還可以進行元素價態的測定。俄歇電子能譜在表面科學的研究上具有重要的應用。該研究討論了俄歇化學位移測定元素價態的基本原理和方法、俄歇化學位移的理論計算、常用元素的俄歇化學位移的測定。