俄歇效應作用是研究核子過程（如捕捉過程與內轉換過程）的重要手段。同時從俄歇電子的能量與強度，可以求出原子或分子中的過渡幾率。反之，由已知能量的俄歇光譜線，可以校準轉換電子的能量。按照這一效應，已制成俄歇電子譜儀，在表面物理、化學反應動力學、冶金、電子等的領域內進行著高靈敏度的檢測與快速分析。
