俄歇電子產額或俄歇躍遷幾率決定俄歇譜峰強度，直接關系到元素的定量分析。俄歇電子與特征X射線是兩個互相關聯和競爭的發射過程。對同一K層空穴，退激發過程中熒光X射線與俄歇電子的相對發射幾率，即熒光產額(PX)和俄歇電子產額(PA )滿足 PX + PA =1
