俄歇電子能譜儀在氧化銅定量分析中的應用

將基體效應修正引入到俄歇電子能譜儀定量分析中,基于Monte Carlo模擬和TPP-2M模型進行了氧化銅樣品中各元素背散射因子和非彈性平均自由程的計算,對氧化銅標樣在相同條件下重復10次進行俄歇能譜試驗。將修正因子引入到氧化銅標樣的俄歇定量分析中,基體效應修正后,氧化銅中各元素含量的相對誤差大大減小,俄歇定量分析的精確度有很大提高。