樣品表面出射俄歇電子強度與樣品中該原子的濃度有線性關系 , 利用這種關系可以進行元素的半定量分析。俄歇電子強度不僅與原子多少有關 , 還與俄歇電子的逃逸深度、樣品的表面光潔度、元素存在的化學狀態有關。因此 , AES 技術一般不能給出所分析元素的絕對含量 , 僅能提供元素的相對含量。
必須注意的是 , AES 給出的相對含量也與譜儀的狀況有關。因為不僅各元素的靈敏度因子不同 ,AES 譜儀對不同能量俄歇電子的傳輸效率也不同 , 并會隨譜儀污染程度而改變。當譜儀分析器受到嚴重污染時 , 低能端俄歇峰的強度可以大幅度下降。 AES 僅提供表面 1 ～ 3nm 表面層信息 , 樣品表面的C 、O 污染以及吸附物的存在 , 也會嚴重影響定量分析結果。由于俄歇能譜各元素的靈敏度因子與一次電子束的激發能量有關 , 因此激發源的能量也會影響定量結果。