光學表面輪廓儀相關內容

　　光學表面輪廓儀是一種用于材料科學、電子與通信技術領域的分析儀器，于2009年11月27日啟用。

　　技術指標

　　1. 垂直測量范圍：0.1nm 至 1mm2. 垂直分辨率：<0.1nm Ra3. RMS重現性：0.01nm4. 垂直掃描速度：可達14.4微米/秒5. 橫向分辨率：0.08 至13.1微米。

　　主要功能

　　光學輪廓儀提供精確、非接觸表面測量，可運用于微機械系統、薄膜、光學器件、陶瓷、高級材料等領域。