光電直讀等離子體發射光譜儀（圖）

光電直讀是利用光電法直接獲得光譜線的強度。可分為兩種類型：

①.單道掃描式：單道掃描式是通過單出射狹縫在光譜儀焦面上的移動（或轉動光柵），在不同時間接收不同元素的分析線（間歇式測量）；

②.多道固定狹縫式：多道固定狹縫式則是安裝多個狹縫和光電倍增管（多達70個；一個出射狹縫和一個光電倍增管，可接受一條譜線，構成一個測量通道），同時測定多個元素的譜線。

現在多用多道光電直讀光譜儀。

一、 多道等離子體光電直讀發射光譜儀

由于ICP光源具有很多優點，所以， 目前多道光電直讀等離子體發射光譜儀中占主導地位。如圖7-19所示。

ICP炬管發射的輻射經入射狹縫射到凹面光柵上，經色散后，不同波長的光分別聚焦在預先設定的，排在羅蘭圓上不同的得出射狹縫上，然后由反射鏡反射至各自的PMT上。

羅蘭圓：Rowland（羅蘭）發現在曲率半徑為R的凹面反射光柵上存在著一個直徑為R的圓，不同波長的光都成像在圓上，即在圓上形成一個光譜帶；

凹面光柵既具有色散作用也起聚焦作用（凹面反射鏡將色散后的光聚焦），如下圖所示。

特點：

(1) 多達70個通道可選擇設置，同時進行多元素分析，這是其他金屬分析方法所不具備的；

(2) 分析速度快，準確度高；

(3) 線性范圍寬，4～5個數量級，高、中、低濃度都可分析；

缺點：出射狹縫固定，各通道檢測的元素譜線一定；

改進型：n+1型ICP光譜儀，即在多道儀器的基礎上，設置一個掃描單色器，增加一個可變通道；

二、全譜直讀等離子體光譜儀

采用CID陣列檢測器，[CID：電荷注入式檢測器（charge injection detector，CID），28×28mm半導體芯片上，26萬個感光點陣（ 每個相當于一個光電倍增管）]；可同時檢測165～800nm波長范圍內出現的全部譜線；中階梯光柵分光系統，儀器結構緊湊，體積大大縮小；兼具多道型和掃描型特點；

儀器特點：

(1) 測定每個元素可同時選用多條譜線；

(2) 可在一分鐘內完成70個元素的定量測定；

(3) 可在一分鐘內完成對未知樣品中多達70多元素的定性；

(4) 1ml的樣品可檢測所有可分析元素；

(5) 扣除基體光譜干擾；

(6) 全自動操作；

(7) 分析精度：CV 0.5%。