全反射X射線熒光光譜儀是一種用于材料科學領域的分析儀器，于2016年11月28日啟用。
一、技術指標
可分析元素范圍：Al~U（靶元素和與靶元素干擾嚴重的元素除外） 濃度范圍：10-9~100% 檢出限：Ni≤2pg 激發源：最大功率≥30W；最大激發電壓≥50kV，最大激發電流≥1mA 探測器：SDD探測器，活性面積≥30mm2，能量分辨率≤145eV（Mn Kα）， 最大計數率≥100kcps 測量強度的重復性：RSD≤1%（扣除技術統計誤差）。
二、主要功能
用于分析液體、粉末、固體樣品中常量、次量和痕量元素的快速分析，能夠迅速準確分析從Al~U（除惰性氣體及少部分元素外）的所有元素，含量范圍從10-9~100%。