1859年克希霍夫和本生為了研究金屬的光譜，設計和制造了一種完善的分光裝置，這個裝置就是世界上第 一臺實用的光譜儀器，研究火焰、電火花中各種金屬的譜線，從而建立了光譜分析的初步基礎牛頓第一次進17世紀，1666年物理學家行了光的色散實驗,發現了光譜。
1882年，羅蘭發明了凹面光柵 ，凹面光柵的問世不僅簡化了光譜儀器的結構，而且還提高了它的性能 。
波耳的理論在光譜分析中起了作用，其對光譜的激發過程、從測定光譜線的絕對強度轉到測量譜線的相對強度的應用，使光譜分析方法從定性分析發展到定量分析創造基礎
1928年以后，光譜分析成了工業的分析方法，光譜儀得到迅速的發展
1958年我國開始試制光譜儀器，第一臺中型石英攝譜儀問世 ；