六氟磷酸鋰的合成方法主要有三種。
一是濕法合成。該方法是將鋰鹽溶于無水氫氟酸中形成LiF·HF溶液，然后通入PF5氣體進行反應生產六氟磷酸鋰結晶。經分離，干燥得到產品。
二是干法合成。該方法是將LiF用無水HF處理，形成多孔LiF，然后通入PF5氣體進行反應，從而得到產品。
三是溶濟法合成。該方法是使鋰鹽與氟磷酸的堿金屬鹽、銨鹽或有機胺鹽在有機溶劑中反應，結晶，從而制取六氟磷酸鋰產品。
