1.濕法：該方法是將鋰鹽溶于無水氫氟酸中形成LiF·HF溶液，然后通入PF5氣體進行反應生產六氟磷酸鋰結晶。經分離，干燥得到產品。
2.干法：該方法是將LiF用無水HF處理，形成多孔LiF，然后通入PF5氣體進行反應，從而得到產品。
3.溶劑法：該方法是使鋰鹽與氟磷酸的堿金屬鹽、銨鹽或有機胺鹽在有機溶劑中反應，結晶，從而制取六氟磷酸鋰產品。
氟化工行業中，雖然傳統產品同比降幅明顯，但高端產品需求增長保持了強勁勢頭，尤其是六氟磷酸鋰產銷繼續保持良好態勢。隨著未來新能源領域的持續擴張，六氟磷酸鋰望迎來持續爆發。未來其它的新型鋰鹽有望取代六氟磷酸鋰。