1、根據使用情況和頻次經常清洗霧化器、霧化室、炬管及冷錐，檢查廢液瓶，傾倒廢液，檢查、添加、更換循環冷卻水,每1-2年更換氬氣過濾器。
2、 Agilent 710-ICP OES在每次更換炬管后都要做“炬管準直”，大約每月做一次“波長校正”。而Spectro Ciros CCD在更換炬管后要做BEC調整。
3、 在高溫和潮濕天氣，應常開空調或除濕機降低房間內的溫度和濕度，保持儀器光學部分性能穩定；如使用頻率不高時，應經常開啟儀器，讓儀器運行一段時間，防止光學元件受潮。
