六氟化硫，是一種無機化合物，化學式為SF6，常溫常壓下為無色無臭無毒不燃的穩定氣體，分子量為146.055，在20℃和0.1 MPa時密度為6.0886kg/m3，約為空氣密度的5倍，六氟化硫分子結構呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩定性很高，在溫度不超過180℃時，它與電氣結構材料的相容性和氮氣相似。
