真空質譜計的主要參數有質量范圍、分辨能力、靈敏度、最小可檢分壓強、最高工作壓強。
①質量范圍：在滿足一定分辨能力和靈敏度的要求下，所能分析的質量范圍，用原子質量單位或質量數表示。
②分辨能力：表征質譜計可分辨兩個相鄰離子譜峰的能力。
③靈敏度：在一定發射電流下，儀器檢測的氣體離子流與其在離子源中分壓強的比值。
④最小可檢分壓強：這一參數反映質譜計靈敏度和儀器檢測離子流信號能力的綜合性能。
⑤最高工作壓強：質譜計允許工作的最高總壓強。
真空質譜計的主要類型有：磁偏轉質譜計、回旋質譜計、四極質譜計和飛行時間質譜計。