基態氧分子吸收光直接產生1O2是不可能的，躍遷高度禁阻。可以通過光敏化法、微波放電法和化學方法得到。
1.光敏化法就是在光敏化劑作用下對基態氧進行輻照。常用的光敏化劑是一種熒光性染料（如熒光黃、亞甲基藍、葉綠素等），可表示為：
敏化劑----hv--->敏化劑T1
敏化劑T1+3O2----能量傳遞--->敏化劑+1O2
2.化學反應制備：H2O2+ClO-----EtOH--->1O2+H2O+Cl-
