測量煙氣污染物排放必須測量氧氣實際濃度，以便能夠將排放濃度折算。氧的測量方法主要有：氧化鋯分析儀、順磁氧分析儀、化學電池。
氧化鋯氧量分析儀通常有直接測量法，即測量探頭在煙道中。還有煙道抽取式，即采樣探頭插入煙道，測量池安裝在煙道上離煙道一定距離的分析一中（需要樣品輸送管路）。
氧化鋯分析儀測量O2依據的原理：在電解質中，由于化學電位不同，電流將在電解質或含有不同濃度的化合物種類的氣體之間流動。典型的測量池中，ZrO2作為電解質和高溫催化劑，產生氧離子。池的兩側，焙燒上一層鉑，形成煙氣一側的電極和與含有O2參考氣體（通常為空氣）接觸的參考電極。池的溫度必須加熱到約600℃。
氧化鋯分析儀可以非常精準和可靠地測量O2。低成本但要得到較高精度需要長維護。測量的是濕基氧的濃度，計算干基濃度時，還必須測量煙氣濕度。
順磁氧分析儀是利用氧氣的順磁性測量O2。
化學電池原理測量氧含量是利用電化學燃料電池產生的電流正比于樣品中的含氧量。電化學染料電池的交叉敏感性小，傳感器的使用壽命大約6~18個月，平均壽命12個月。一般情況下該類型的傳感器用于便攜式氧分析儀，是理想的便攜式儀器。目前已經將O2電化學燃料傳感器用于煙氣在線監測系統，和前述儀器組成連續分析儀。