1955年，聯邦德國的Willi.Becker首次提出有實用價值的渦輪分子泵，以后相繼出現了各種不同結構的分子泵。
1958年，聯邦德國的W.貝克初次提出有適用價值的渦輪分子泵，以后相繼呈現了各種不同構造的分子泵，主要有立式和臥式兩種。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉輪和驅動系統等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(普通為150～400米/秒)。單個葉輪的緊縮比很小，渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸根本相同,但葉片傾斜角相反。圖2為20個動葉輪組成的整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環固定并使動、靜葉輪間堅持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自在旋轉。
在運動葉片兩側的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側，當氣體分子抵達A點左近時，在角度α1內反射的氣體分子回到左側；在角度β1內反射的氣體分子一局部回到左側，另一局部穿過葉片抵達右側；在角度γ1內反射的氣體分子將直接穿過葉片抵達右側。同理，在葉輪右側(圖3b),當氣體分子入射到B點左近時，在α2角度內反射的氣體分子將返回右側；在β2角度內反射的氣體分子一局部抵達左側，另一局部返回右側；在γ2角度內反射的氣體分子穿過葉片抵達左側。傾斜葉片的運動使氣體分子從左側穿過葉片抵達右側，比從右側穿過葉片抵達左側的幾率大得多。葉輪連續旋轉，氣體分子便不時地由左側流向右側，從而產生抽氣作用。