1. 定點分析：
將電子束固定在要分析的微區上，用波譜儀分析時，改變分光晶體和探測器的位置，即可得到分析點的X射線譜線；用能譜儀分析時，幾分鐘內即可直接從熒光屏（或計算機）上得到微區內全部元素的譜線。
鎂合金中的析出相CaMgSi的鑒別
Spectrum1 位置析出相富含Ca、Mg、Si元素
2. 線分析：
將譜儀（波、能）固定在所要測量的某一元素特征X射線信號（波長或能量）的位置
把電子束沿著指定的方向作直線軌跡掃描，便可得到這一元素沿直線的濃度分布情況。
改變位置可得到另一元素的濃度分布情況。
3. 面分析：
電子束在樣品表面作光柵掃描，將譜儀（波、能）固定在所要測量的某一元素特征X射線信號（波長或能量）的位置，此時，在熒光屏上得到該元素的面分布圖像。改變位置可得到另一元素的濃度分布情況。也是用X射線調制圖像的方法。
鎂合金中的析出相Mg2Si的鑒別
Si的元素面分布圖，可以清晰地看到Mg2Si所在的位置