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　　使入射電子束在樣品表面選定的微區內作光柵掃描，譜儀固定接收某一元素的特征X射線信號，并以此調制熒光屏的亮度，可獲得樣品微區內被測元素的分布狀態。元素的面分布圖像可以清晰地顯示與基體成分存在差別的第二相和夾雜物，能夠定性地顯示微區內某元素的偏析情況。在顯示元素特征X射線強度的面分布圖像中，較亮的區域對應于樣品的位置該元素含量較高(富集)，暗的區域對應的樣品位置該元素含量較低(貧化)。