關于電子探針X射線顯微分析儀的俄歇電子介紹

　　入射電子與樣品相互作用后，元素原子內層軌道的電子轟擊出來成為自由電子或二次電子，而留下空位，從而原子不穩定。則外層高能電子填充空位，釋放出能量，釋放的能量一方

　　面以輻射特征X射線的方式釋放，另一方面釋放的能量被該原子吸收，從而從另一軌道上轟擊出電子，該電子為俄歇電子。俄歇電子發生的幾率隨原子序數的減少而增加，能量較低，逸出深度~10 A。俄歇電子的能量對于各元素是特征的。可用來分析樣品表面的成分，適合輕元素和超輕元素分析。