相較于探針式(Probe)電性量測，電子束檢測具有兩個顯著優勢，能在制作電子元件的過程中，快速反應制程問題：
(一)即時性。能夠線上(in line)檢測缺陷狀況。
(二)預判性。無須制作電極(electrode pad)即可檢出。
進一步說明，元件的良率及電性表現必須在整體元件制程完成后，才能以固定式探針設備量測得其結果，在分秒必爭的半導體產業，電子束檢測可以提前多道制程，既可知道元件缺陷狀況，這是一個顯著的時效優勢，使得此技術被廣泛的應用在電子產業上。
