電子水準儀又叫數字水準儀，由基座、水準器、單遠鏡及數據處理系統組成，電子水準儀是以自動安平水準儀為基礎，在望遠鏡光路中增加了分光鏡和探測器(CCD)。并采用條紋編碼標尺和圖像的處理電子系統而構成的光機電一體化的高科技產品。
目前，電子水準儀的照準標尺和調焦仍需目視進行。人工調試后，標尺條碼一方面被成像在望遠鏡分化板上，供目視觀測，另一方面通過望遠鏡的分光鏡，又被成像在光電傳感器（又稱探測器）上，供電子讀數。由于各廠家標尺編碼的條碼圖案各不相同，因此條碼標尺一般不能互通使用。當使用傳統水準標尺進行測量時，電子水準儀也可以像普通自動安平水準儀一樣使用，不過這時的測量精度低于電子測量的精度，特別是精密電子水準儀，由于沒有光學測微器，當成普通自動安平水準儀使用時，其精度更低。