所謂濕式羅茨真空泵,即是由間級或雙級泵吸入的空氣經壓縮后,通過綜合吸收及有相位差的組合消音器傳送。將微量的水注入泵內,便能消除因壓縮空氣而產生的熱量。吸入水管裝在單級或雙級泵組的吸氣端并連接到真空泵的進氣口上。水是靠真空泵產生的真空度而吸入,真空度越大,吸入水量就越高。用一只簡單的調節閥門便能保證最佳的吸入量,吸入水的溫度應保持在20度左右,要清潔,無鈣質。