關于薄膜鋰電池結構的研究

　　薄膜鋰電池采用經典的疊層結構，這種電池結構簡單，加工容易。但為了進一步提高電池的性能，對薄膜鋰電池結構的研究逐漸增加，特別是3D結構的薄膜鋰電池由于其良好的性能預期而成為研究熱點。在薄膜鋰電池的3D結構的類似多孔結構的3D電池，這種電池是在硅基體上加工很多規則排列的微孔，在微孔內沉積Li擴散阻隔層TiN，然后以硅為負極，LiPON為電解質，LiCoO2為正極制成電池。