淺綠色斜方晶系結晶。密度3.52g/cm3。熔點>1000℃。在1000℃升華。微溶于冷水,溶于強酸、熱水、堿,不溶于醇、醚、苯,其水合物也可溶于氫氟酸,由無水氫氟酸或氟與三氯化鐵反應制得。亦可由氧化鐵在高溫下與氟化氫氣體反應制得。作氟化劑,防止鑄鐵鑄造時出砂現眼。用作氙-氟化合物的催化劑,燃燒速率控制的催化劑,芳構化、脫烷基化和聚合的催化劑。亦用于阻燃聚合物,陶瓷器。