高真空檢漏儀是專門用于TEM樣品臺真空儲存和密封檢查的儀器。它能夠在5min內將系統內真空度抽至10^(-5)mBar，即TEM內的真空環境。超新芯提供的高真空檢漏儀搭配有超高分辨數字顯微系統，自帶13寸顯示器及自動變焦功能，放大倍率達800X，分辨率達1微米。研究人員可輕松完成液體池或氣體池的密封性、完整性檢查。并可觀察芯片窗體是否破裂或者污染，檢驗樣品在窗體分布情況。
高真空檢漏儀的優勢：
采用高分辨顯微鏡平臺，xy軸微運動集成，以及高分辨電子相機和顯示屏，完全契合電鏡使用，具有極高的直接壓力分辨率和泄漏檢測靈敏度，并具有強大的擴展輸入和輸出、多通道參數設置和選擇、大容量記錄和存儲、通信處理、質量檢測、數據傳輸的功能等等。檢測靈敏度高，位置準確，操作便捷。