這個問題太大，如果你不給出具體實驗條件，材料，和分析要求，沒有辦法給你幫助。簡單的說，多價態物質可以通過其coreloss的ELNES在細節上分辨出來具體價態然后計算出含量組成。如果需要定量分析，我只推薦在stem下用1nm以下的probe。我通常使用的步驟是：1）找真空位置收集zeroloss來調分辨率和用于后續的定量分析，2）如果儀器允許的話在需要分析的區域ROI同時收集low-loss和core-loss ELNES，3）根據分析要求對low-loss和ELNES做數據處理常規的包括去zeroloss，去multiple scattering，去背景信號，可能需要做不同程度的deconvolution和parameter fitting，4）如果有需要進一步就做更復雜的EELS Simulation
里面每個涉及的點都可以展開變的更復雜，有興趣可以看egerton的那本寶典。初學的可以看Brydson的那本，如果可以上Gatan的EELS School也可以學不少。