關于XRF的發展歷程介紹

　　1895年倫琴發現X射線；

　　1910年特征X射線光譜的發現，為X射線光譜學的建立奠定了基礎；

　　20世紀50年代商用X射線發射與熒光光譜儀的問世，使得X射線光譜學技術進入了實用階段；

　　60年代能量色散型X射線光譜儀的出現，促進了X射線光譜學儀器的迅速發展，并使現場和原位X射線光譜分析成為可能。

　　后來又出現了全反射和同步輻射X射線熒光光譜儀、粒子激發X射線光譜儀、微區X射線熒光光譜儀等。

1895年，德國物理學家威廉·康拉德·倫琴意外地發現了X射線（又稱倫琴射線）。1901年，倫琴因發現X射線而獲得諾貝爾物理學獎。

1909年，英國物理學家查爾斯·格洛弗·巴克拉發現了從樣本中輻射出來的X射線與樣品原子量之間的聯系，特征X射線光譜的發現，為X射線光譜學的建立奠定了基礎；

1913年，英國的物理學家亨利·莫斯萊發現了一系列元素的標識譜線（特征譜線）與該元素的原子序數存在一定的關系。這些發現都為人們后期根據原子序數而不是根據原子量大小提煉元素周期表奠定了基礎，同樣也為人們建立起第一個X射線熒光光譜儀（XRF）打下了堅實的理論基礎。亨利·莫斯利也是第一個使用X射線進行分析的人。他制造的儀器相對如今使用的儀器來說，相當的原始，只是一個用高能電子轟擊樣品的X射線管。

1928年，R.Glocker和H.Schreiber是第一批使用X射線技術對材料進行定量分析的科學家。然而，直到20世紀40年代，探測器技術才趕上，將該技術應用于實際環境。

1948年，Herbert Friedman 和Laverne Stanfield Birks建立起世界上第一臺用于元素分析的X射線熒光光譜儀，這為后續光譜儀的商業化使用開辟了道路。探測器的改進是關鍵。

1967年，第一臺商用便攜式X射線熒光光譜儀問世。

1982年，第一臺“手持式”XRF問世。探頭重量超過31 kg，測量頭連接到小車上，電子設備在小車上顯示數據。

1994年，第一個一體式全手持式探測器誕生，具有實時數字信號處理和硅PIN二極管探測器。儀器重7千克，可測量的最輕元素是鈦。

2001年，X射線管技術的進步使得用X射線管代替放射性同位素激發成為可能。X射線管具有許多優點，例如提高了安全性、更快的分析速度和更低的檢出限。XRF光譜儀重2-3千克，可測量的最輕元素是鎂。

2008年，SiPin探測器被硅漂移探測器取代，提高了儀器的光譜分辨率。

如今，這些儀器重量不到2kg，如今能夠檢測氟（通過氦吹掃）并測量鈉到鈾。