在等壓的條件下將被測氣體中的水蒸氣冷卻至結露或結霜，當水蒸氣與水(露)或冰(霜)的表面達到熱力學相平衡狀態時，測量露層或霜層的溫度，即為該氣體的露點或霜點溫度。采用上述原理的露(霜)點測量方法是目前公認的準確度最高、可靠性最好的測量方法。冷鏡式精密露點儀是許多國家計量機構普遍使用的濕度標準器，也是濕度量值國際比對所采用的傳遞標準。
