(1)液相急冷法
將融熔態的物質以大干一定速率冷卻,使物質保持融熔態時的原子排列,得到塊狀的玻璃態。這類物質往往具有大于1 eV的遷移率帶隙,大多數非晶半導體可以用此法制成。所以非晶半導體早期也稱為玻璃半導體。SeAsTe視象管靶面的光敏膜就是玻璃態的光電導體。
(2)氣相沉積法
有些物質,例如Te、Ge、Si等由于它們的結晶動力學常數很大,用快淬冷卻法不能得到非晶態,可采用氣相沉積法,即先用各種不同工藝將晶態材料的原子或分子分離出來,然后使它們無規則地沉積到低溫冷卻底板上,從而形成非晶態,由于受導熱的限制,一般只能制備非晶態薄膜樣品,厚度最大為微米量級。根據離解與沉積的方式不同,又可分為濺射、真空蒸發、輝光放電、電解和化學沉積等,各適用于制備不同成分,不同類型的非晶態材料。