| 儀器名稱： | 離子束刻蝕機 |
| 儀器編號： | 07001234 |
| 產地： | 中國 |
| 生產廠家： | 北京埃德萬斯公司 |
| 型號： | LKJ-ID-150 |
| 出廠日期： | 200608 |
| 購置日期： | 200701 |
| 所屬單位： | 物理系>離子束刻蝕實驗室 |
| 放置地點： | 理科樓C-207 |
| 固定電話： | 62772764 |
| 固定手機： | 13552113513 |
| 固定email： | jianglinan@tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | |
| 分類標簽： | 離子束 刻蝕 干法 干刻 離子束刻蝕 微納加工 |
| 技術指標： | Ar+離子能量可調范圍：0~1000eV； |
| 知名用戶： | 清華大學物理系超導電子學實驗室及物理系其他有離子束干法刻蝕相關需求實驗室，清華大學微電子所等 |
| 技術團隊： | 屬于清華大學物理系和低維量子物理國家重點實驗室，有完善的組織管理體系，有經驗豐富的儀器維護管理工程師和專業實驗員。 |
| 功能特色： | 離子束刻蝕機配置高性能的離子源，可在不同離子能量條件下，獲取相對較大束流能力、較大束流平度、較小束散角和較高束流穩定度，采用抗熱變形平面雙Mo柵自對準安裝式離子光學系統，配置專用六組合高可靠性、高穩定性離子源電源，具備適應離子源動態負載變化的優良特性，離子源工作參數調整采用5旋鈕電控方法可快速完成操作過程。離子源采用插裝式源體結構、快速插接式主陰極組件、源體內裝浸沒式中和器和源體非直接水冷式結構，具有結構穩定性高和良好的重復一致性。 |
樣品要求：
具體刻蝕樣品成分與實驗步驟需提交紙質文字材料給儀器管理員，待取得管理員同意后方可上機操作。
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 離子束刻蝕 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 240.0 |