半導體材料與器件分析檢測技術培訓班：推動行業發展培養專業人才

　　2024年7月17日，由中國科學院人事局資助、中國科學院上海硅酸鹽研究所主辦、上海無機非金屬材料分析測試專業平臺和上海材料與制造大型儀器區域中心協辦的“半導體材料與器件分析檢測技術”培訓班在上海舉辦。分析測試百科網作為本次培訓班的支持媒體進行會議報道。

“半導體材料與器件分析檢測技術”培訓班參會人員合影

中國科學院上海硅酸鹽研究所人力資源處處長 賀天厚

　　活動伊始，中國科學院上海硅酸鹽研究所人力資源處處長賀天厚首先對所有受邀參加的領導、老師和學員們的到來表示熱烈歡迎，對中國科學院人事局、上海無機非金屬材料分析測試專業平臺和上海材料與制造大型儀器區域中心等單位的支持表示感謝。

　　上海硅酸鹽研究所正在組建關鍵陶瓷材料全國重點實驗室，面向航空航天、半導體等領域尖端技術變革對先進陶瓷提出高要求，開展先進材料的復雜結構與極端尺寸、極限服役條件和新結構新功能新機制研究。半導體材料生產工藝復雜，設備精密度要求高，對材料純度、制造精度等都提出極高要求，而這也給材料、器件的分析檢測技術帶來了巨大的挑戰。

　　中國科學院上海硅酸鹽研究所主辦本次培訓班，邀請本領域專家，采取專題講座、專項技術培訓、現場參觀和實踐技能交流等方式，研討半導體材料與器件的分析檢測技術，使學員們掌握該技術領域的新技能與新方法，提高科學實驗技能和儀器裝備的使用效能。此次培訓班通知一經發出，收到全國各地相關單位的積極響應，經遴選，共有來自全國各地55家單位的近120名學員參加此次培訓班。最后，賀天厚處長期望全體學員能珍惜難得的學習機會，在這次培訓中學有所獲，并將學習成果應用到實際工作中，共同推進半導體行業的發展。

中國半導體行業協會副理事長、上海市集成電路行業協會秘書長 郭奕武

　　中國半導體行業協會副理事長、上海市集成電路行業協會秘書長郭奕武致歡迎詞，對培訓班的成功開班表示熱烈祝賀。

　　當前，我國在集成電路領域面臨著諸多挑戰，尤其是在材料技術方面存在技術瓶頸。郭奕武強調了國家對半導體產業發展的重視，并強調了通過自主創新實現技術突破和產業自主可控的重要性。他認為，這次培訓班的召開非常及時，將為集成電路產業的發展注入新動力。

　　郭奕武介紹了中國科學院上海硅酸鹽研究所在材料科學研究領域取得的顯著成就，并期待該研究所在未來工作中繼續發揮重要作用，為半導體產業的發展做出更大的貢獻。

　　郭奕武帶來了題為“新時期中國集成電路產業創新發展探討”的培訓報告，首先對中國集成電路產業的發展歷程進行了回顧。從20世紀50年代開始，我國逐步建立起完整的產業鏈，包括設計、制造、封測等各個環節都在過去十幾年的快速發展中不斷提升。

　　郭奕武指出中國在高端技術領域的短板，特別是在先進制程技術、關鍵設備和材料上的依賴。此外，他還分析了當前國際形勢對中國集成電路產業的沖擊，特別是美國對中國的技術限制和市場準入限制。

　　郭奕武強調了自主創新的重要性，建議加強基礎與應用研究，提升產業鏈的自主可控性；提倡科技創新與產業創新的深度融合，推動科技成果轉化，提升產業競爭力。人才是產業發展的根本，建議加強教育和培訓，吸引更多高端人才投身產業發展。

中國科學院上海硅酸鹽研究所 汪正研究員

　　本次培訓班的發起人、中國科學院上海硅酸鹽研究所汪正研究員帶來了題為“等離子體質譜在半導體用高純材料的分析研究”的培訓報告，他強調了ICP-MS技術在檢測和分析半導體材料中的重要性，尤其是在當前集成電路產業快速發展的背景下。

　　半導體材料對純度要求極高，通常需要檢測到ppb甚至ppt級別的元素含量。半導體材料樣品處理復雜，需要精確控制樣品制備和分析過程，以避免污染和交叉污染。

　　ICP-MS是一種高靈敏度的元素分析技術，通過將樣品轉化為等離子態，然后利用質譜儀進行元素檢測。ICP-MS能夠檢測半導體材料中的多種元素，包括金屬、非金屬和稀土元素。汪正研究員詳細闡述了半導體材料樣品制備過程中的關鍵步驟，包括樣品溶解、稀釋和預處理，以確保分析結果的準確性；并討論了ICP-MS分析中常見的干擾問題及其解決方案，如光譜干擾和基體效應；分享了多個實驗案例，通過ICP-MS技術檢測半導體材料中的微量元素，并展示了ICP-MS在分析高純硅材料中的應用。

　　隨著技術進步，ICP-MS在靈敏度、準確性和檢測范圍方面不斷提升。ICP-MS技術的應用領域也將不斷拓展，覆蓋從傳統的元素分析到材料表征、表面分析等。

廈門大學半導體特聘專家 陳登云博士

　　廈門大學半導體特聘專家陳登云博士帶來了題為“電子特氣雜質在線分析整體解決方案”的培訓報告，闡述了特氣雜質分析的重要性及其面臨的挑戰。

　　在半導體生產中，控制污染對于保證產品質量和生產線盈利具有決定性作用。陳登云博士詳細闡述了從手工操作到自動化在線檢測的半導體生產演變，并探討了這一演變過程中遇到的技術挑戰及其解決方案。他還討論了在半導體生產中識別和控制污染源的重要性，包括顆粒物、有機分子等。

　　在線分析特氣雜質的技術，如VBD、ICP-MS等高精度檢測技術，在特氣雜質分析中極其重要。這些技術能顯著提高檢測的靈敏度和準確性。陳登云博士還強調了在處理高純度氣體和進行雜質分析時，安全措施和操作人員的經驗至關重要。他通過具體的生產實踐案例，展示了特氣雜質在線分析技術在實際生產中的應用效果及其潛在問題。

珀金埃爾默股份有限公司應用工程師 徐俊俊

　　珀金埃爾默股份有限公司應用工程師徐俊俊帶來了題為“PerkinElmer ICP-MS在半導體材料元素雜質檢測中的解決方案”的演講報告。

　　半導體行業對材料純度要求極高，這就使得雜質元素的檢測至關重要。在半導體材料的檢測過程中，檢測低濃度雜質元素是一項技術挑戰，涉及樣品前處理、干擾消除和提高檢測靈敏度等方面。

　　徐俊俊詳細闡述了多種雜質元素檢測方案，包括利用ICP-MS技術進行元素雜質分析，并分享了珀金埃爾默ICP-MS儀器在檢測中的高分辨率和反應模式等優勢。此外，徐俊俊強調了樣品前處理的重要性及其在檢測中的關鍵作用，并探討了如何在稀釋、消解等前處理步驟中減少干擾。

聯仕（蘇州）新材料有限公司QC經理 張嘯虎

　　聯仕（蘇州）新材料有限公司QC經理張嘯虎帶來了題為“ICP-MS 在濕電子化學品與硅基特氣上的應用”的演講報告。

　　半導體材料和器件的分析檢測非常重要，尤其是在芯片制造過程中對高純度材料的需求。張嘯虎強調了在檢測過程中識別和分析高純度材料中的微量雜質的重要性，以及如何確保這些雜質不會對最終產品的質量產生負面影響。他詳細講解了ICP-MS技術在濕電子化學品和硅基特氣檢測中的應用，并強調了其在提高檢測精度和靈敏度方面的作用。

　　張嘯虎在報告中還討論了在檢測過程中可能遇到的干擾問題，并介紹了如何利用標準加入法等技術來消除這些干擾。最后，他對半導體材料檢測技術的未來發展進行了展望和討論，包括對高精度檢測設備的需求以及新材料檢測的挑戰。

“半導體材料與器件分析檢測技術”培訓班現場

　　本次“半導體材料與器件分析檢測技術”培訓班不僅為從事半導體、電子/電氣相關研究人員和分析工作者提供了一個學習和交流的平臺，還通過業內專家學者的深入講解和豐富的案例分享，讓學員們對半導體材料的分析檢測技術有了更深入的理解，對提升自身的專業技能和解決實際工作中的問題有了更明確的方向。