1)原材料控制。包括對掩膜版、化學試劑、光刻膠、特別對硅材料等原材料的控制。控制不光采用傳統的單一檢驗方式，還可對關鍵原材料采用統計過程控制(statisticalprocesscontrol，SPC)技術，確保原材料的質量水平高，質量一致性好。
2)加工設備的控制。除采用先進的設備進行工藝加工外，還應做好對設備日常維護、預防性維修等工作，同時應對設備的關鍵參數進行監控，必要時建立設備參數的SPC控制模型進行分析控制等。
3)工藝加工過程的控制。包括對關鍵工藝參數進行SPC控制、工序能力分析、6σ設計等，同時對工藝加工關鍵環節建立工藝檢驗手段，如對氧化層的針孔和裂紋的檢驗、對可動金屬離子的檢驗、對金屬層穩定性的檢驗等。此外，工藝方面的保障還應包括對操作人員的培訓和考核、對環境潔凈度的控制和建立先進的生產質量管理信息系統等方面。