半自動探針臺的技術指標及功能

　　技術指標

　　支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4個SMU接口，可同時輸出（測量）四路直流信號。 每個SMU最大輸出電壓100V(-100V),最大輸出電流1A 測量功率100V*10mA。 開路漏電流20fA。

　　主要功能

　　通過和外接的測試儀器4156C以及溫度控制設備TP03000A的連接，組成一個測試平臺，完成對器件封裝前的電性能測試（電阻，C/V,擊穿特性等）。