單面/雙面掩模對準光刻機支持各種標準光刻工藝，如真空，硬，軟接觸和接近式曝光模式，可選擇背部對準方式。此外，該系統還提供其他功能，包括鍵合對準和納米壓印光刻（NIL）。EVG610提供快速處理和重新加工，以滿足不斷變化的用戶需求，轉換時間不到幾分鐘。其先進的多用戶概念適合初學者到專家級各個階層用戶，非常適合大學和研發應用。
EVG單面/雙面掩模對準光刻機特征：
1、晶圓/基片尺寸從零碎片到200毫米/ 8英寸。
2、臺式或獨立式帶防振花崗巖臺面。
3、敏捷的處理和轉換重新加工。
4、分步流程指引。
5、遠程技術支持。
6、頂部和底部對準功能。
7、高精度對準。
8、自動楔形補償序列。
9、電動的和程序控制的曝光間隙。
10、支持先進的UV-LED技術。
11、最小化系統占地面積和設施要求。
12、多用戶概念（無限數量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權限，不同語言）。