一、原子力顯微鏡的概述
原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope ，AFM），一種可用來研究包括導體、半導體和絕緣體在內的固體材料表面結構的分析儀器。它的橫向分辨率可達0.15m，而縱向分辨率可達0.05m，AFM最大的特點是可以測量表面原子之間的力，AFM可測量的最小力的量級為10-14 -10-16 N。AFM還可以測量表面的彈性，塑性、硬度、黏著力等性質 ，AFM還可以在真空，大氣或溶液下工作，也具有儀器結構簡單的特點，在材料研究中獲得了廣泛的研究。
它與其他顯微鏡相比有明顯不同，它用一個微小的探針來”摸索”微觀世界，AFM超越了光和電子波長對顯微鏡分辨率的限制，在立體三維上觀察物質的形貌，并能獲得探與樣品相互作用的信息，典型AFM的側向分辨率（x，y）可達到2nm，垂直分辯牢（方間）小于0。1mmAFM具有操作客易、樣品準備簡單、操作環境不受限制、分辨率高等優點。
二、原子力顯微鏡的理論基礎
當探針尖和試件表面的距離縮小到納米數量級時，探針尖端原子和試件表面原子間的相互作用力就顯示出來，由于原子間距離縮小產生相互作用，造成原子間的高度勢壘降低，使系統的總能量降低，于是二者之間產生吸引力（范德華力），如果兩原子間距離繼續減小接近到原子直徑量級時，由于兩原子間的電子云的不相容性，兩原子間的相互作用為排斥力（庫侖力），原子力顯微鏡就是通過檢測探針尖和試件表面原子間的相互作用力而進行測量的。
三、原子力顯微鏡的基本原理
圖一是原子力顯微鏡的儀器構成圖。AFM中為檢測出表面力而精細加工的感知杠桿使用了一端支撐的微小彈簧板。在感知杠桿的尖端有半徑幾十納米、非常尖的小探針，感知杠桿從試件表面受到探針的作用力變形。感知杠桿的彈性系數K一般為已知，通過用隧道電流或激光束偏移，來檢測感知杠桿在Z方向上的微小位移△Z，可知作用在探針一表面之的局力（F=K△Z）。一邊測定該力，一邊對試樣進行機械的二維掃描，就能得到試樣表面力的二維像。為保持力的信號穩定，一邊控制試樣Z方向的位置，一邊掃描試樣，記錄各點的移動量，就可以得到三維的精細形貌像。
針尖和樣品之間的作用力與距離有強烈的依賴關系，所以在掃描過程中利用反饋回路保持針尖和樣品之間的作用力恒定，即保持微懸臂的形變量不變，針尖就會隨表面的起伏上下移動，記錄針尖上下運動的軌跡即可得到表面形貌的信息。這種檢測方法被稱為”恒力”模式，是使用最廣泛的掃描方式。
AFM圖像也可以使用“恒高”模式獲得，也就是在x、y掃描過程中 ，不使用反饋回路，保持針尖與樣品之間的距離恒定，檢測器直接測量微懸臂z方向的形變量來成像。這種方法由于不使用反饋回路，可以采用更高的掃描速度，通常在觀察原子、分子像時使用得比較多，而對于表面起伏較大的樣品不適合。
四、原子力顯微鏡的工作環境
原子力顯微鏡受工作環境限制較少，它可以在超高真空、氣相、液相和電化學的環境下操作。
1）真空環境：最早的掃描隧道顯微鏡（STA）研究是在超高真空下進行操作的。后來，隨著AFM的出現，人們開始使用真空AFM研究固體表面。真空AFM避免了大氣中雜質和水膜的干擾，但其操作較復雜。
2）氣相環境：在氣相環境中，AFM操作比較容易，它是廣泛采用的一種工作環境。因AFM操作不受樣品導電性的限制，它可在空氣中研究任何固體表面，氣相環境中AFM多受樣品表面水膜干擾。
3）液相環境：在液相環境中。AFM是把探針和樣品放在液池中工作，它可以在液相中研究樣品的形貌。液相中AFM消除了針尖和樣品之間的毛細現象，因此減少了針尖對樣品的總作用力，液相AFM的應用十分廣闊，它包括生物體系、腐蝕或任一液固界面的研究。
4）電化學環境：正如超高真空系統一樣，電化學系統為AFM提供了另一種控制環境，電化學AFM是在原有AFM基礎上添加了電解雙恒電位儀和相應的應用軟件，電化學AFM可以現場研究電極的性質，包括化學和電化學過程誘導的吸附、腐蝕以及有機和物分子在電極表面的沉積和形態變化等。
五、原子力顯微鏡的簡要歷史
原子力顯微鏡是一種具有原子分辨率的表面形貌、電磁性能分析的重要儀器。1981年，STM（scanning tunneling microscopy， 掃描隧道顯微鏡）由IBM-Zurich 的Binnig and Rohrer 發明。1982年，Binnig首次觀察到原子分辨圖Si（7x7）。1985年，Binnig， Gerber和Quate開發成功了首臺AFM（atomic force microscope， 原子力顯微鏡）。在表面科學、納米技術領域、生物電子等領域， SPM（scanning probe microscopy）逐漸發展成為重要的、多功能材的材料表征工具。
六、原子力顯微鏡的優缺點
1）優點
原子力顯微鏡觀察到的圖像相對于掃描電子顯微鏡，原子力顯微鏡具有許多優點。不同于電子顯微鏡只能提供二維圖像，AFM提供真正的三維表面圖。同時，AFM不需要對樣品的任何特殊處理，如鍍銅或碳，這種處理對樣品會造成不可逆轉的傷害。第三，電子顯微鏡需要運行在高真空條件下，原子力顯微鏡在常壓下甚至在液體環境下都可以良好工作。這樣可以用來研究生物宏觀分子，甚至活的生物組織。
2）缺點
和掃描電子顯微鏡（SEM）相比，AFM的缺點在于成像范圍太小，速度慢，受探頭的影響太大。原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope）是繼掃描隧道顯微鏡（Scanning Tunneling Microscope）之后發明的一種具有原子級高分辨的新型儀器，可以在大氣和液體環境下對各種材料和樣品進行納米區域的物理性質包括形貌進行探測，或者直接進行納米操縱；現已廣泛應用于半導體、納米功能材料、生物、化工、食品、醫藥研究和科研院所各種納米相關學科的研究實驗等領域中，成為納米科學研究的基本工具。原子力顯微鏡與掃描隧道顯微鏡相比，由于能觀測非導電樣品，因此具有更為廣泛的適用性。當前在科學研究和工業界廣泛使用的掃描力顯微鏡（Scanning Force Microscope），其基礎就是原子力顯微鏡。
文章鏈接：儀器設備網 https://www.instrumentsinfo.com/technology/show-1998.html