原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope，AFM）基本原理：將一個隊微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一個微小的針尖，其尖端原子與樣品表面原子間存在及極微弱的排斥力，利用光學檢測法或隧道電流檢測法，通過測量針尖與樣品表面原子間的作用力獲得樣品表面形貌的三維信息。可用來研究包括絕緣體在內的固體材料表面結構的分析儀器。
